Описание товара
Конфокальный лазерный микроскоп (оптический профилометр) OLS5000 — идеальный инструмент для высокоточного измерения формы и шероховатости поверхности в нанодиапазоне. Высокое разрешение , автоматической коррекцией изображения и высокоскоростное сканирование 4К обеспечивают высокую производительность.
Отличительные особенности:
- высокоточная обработка полученный данных;
- превосходное латеральное разрешение;
- стабильные значения измерений;
- новый инновационный сканер, который осуществляет высокоточное двухплоскостное (X-Y) сканирование;
- встроенный специальный алгоритм сканирования для создания 3D-изображений;
- простые рабочие операции;
- возможность работы с крупными образцами, высотой до 210 мм.
Технические характеристики:
| Модель | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
| Общий коэффициент увеличения | 54x — 17280x | |||||
| Поле обзора | 16 мкм — 5120 мкм | |||||
| Принцип измерения | Оптическая система | Отражательный конфокальный лазерный сканирующий микроскоп Отражательный конфокальный лазерный сканирующий ДИК-микроскоп Цвет Цвет-ДИК |
||||
| Фотодетектор | Лазер: Фотоумножитель (2-канальный) Цвет: Цветная камера с КМОП-матрицей |
|||||
| Измерение высоты | Разрешение экрана | 0,5 нм | ||||
| Динамический диапазон | 16 бит | |||||
| Воспроизводимость σn-1*1 *2 *5 | 5X：0,45 мкм, 10X：0,1 мкм, 20X : 0,03 мкм, 50X : 0,012 мкм, 100X : 0,012 мкм | |||||
| Погрешность *1 *3 *5 | 0,15+L/100 мкм (L: измеряемая длина [мкм]) | |||||
| Погрешность для сшитого изображения *1 *3 *5 | 10X：5,0+L/100 мкм, 20X или больше : 1,0+L/100 мкм (L: длина сшивки [мкм]) | |||||
| Помехи при измерении (Sq) *1 *4 *5 | 1 нм | |||||
| Измерение ширины | Разрешение экрана | 1 нм | ||||
| Воспроизводимость 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X : 0,4 мкм, 10X : 0,2 мкм, 20x : 0,05 мкм, 50X : 0,04 мкм, 100X : 0,02 мкм | |||||
| Погрешность *1 *3 *5 | Значение измерения +/- 1,5 % | |||||
| Погрешность для сшитого изображения *1 *3 *5 | 10X : 24+0,5L мкм, 20X : 15+0,5L мкм, 50X : 9+0,5L мкм, 100X : 7+0,5L мкм (L: длина сшивки [мм]) | |||||
| Максимальное количество точек измерения в одном измерении | 4096 x 4096 пикселей | |||||
| Максимальное количество точек измерения | 36 мегапикселей | |||||
| Конфигурация с двухосевым предметным столиком | Модуль измерения длины | • | Н/П | Н/П | • | Н/П |
| Рабочий диапазон | 100 x 100 мм (с электроприводом) | 100 x 100 мм (механический) | 300 x 300 мм (с электроприводом) | 100 x 100 мм (с электроприводом) | 100 x 100 мм (механический) | |
| Максимальная высота образца | 100 мм | 30 мм | 37 мм | 210 мм | 140 мм | |
| Источник лазерного излучения | Длина волны | 405 нм | ||||
| Максимальная выходная мощность | 0,95 мВт | |||||
| Класс лазера | Класс 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| Источник цветного света | Белый светодиод | |||||
| Электропитание | 240 Вт | 240 Вт | 278 Вт | 240 Вт | 240 Вт | |
| Масса | Корпус микроскопа | Прибл. 31 кг | Прибл. 32 кг | Прибл. 50 кг | Прибл. 43 кг | Прибл. 44 кг |
| Блок управления | Прибл. 12 кг | |||||
