| Детектируемый газ |
Диапазон |
Тип датчика |
| Аммиак NH 3 |
0-75 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Пентахлорид сурьмы SbCl 5 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Пятифтористый мышьяк AsF 5 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Арсин AsН 3 |
0-1 ppm0-0,2 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Трихлорид бора BCl 3 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Трифторид бора BF 3 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Бром Br 2 * |
0-1 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Окись углерода СО |
0-75 ppm0-150 ppm0-300 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Хлор Cl 2 |
0-1,5 млн ppm0-3 |
GD-K77D, СК-90 |
| Трехфтористый хлор ClF 3 * |
0-0,6 млн ppm0-1 |
GD-K77D, СК-90 |
| Горючие газы |
0-100% НПВ |
GD-A8 |
| Диборан В 2 Н 6 * |
0-0,3 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Дихлорсилан SiH 2 Cl 2 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Дисилан Si 2 Н 6 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Фтор F 2 * |
0-3 ppm0-5 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Водород Н 2 |
0-2000 частей на миллион |
GD-V77D |
| Бромоводород HBr * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Хлористый водород HCl |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Фтористый водород HF * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Иодоводород HI * |
0-5 млн |
GD-K77D |
| Сероводород H 2 S |
0-1 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Иод я 2 * |
0-1 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Изофталевая кислота СН 3 CHOHCH 3 (МПА) * |
0-2000 частей на миллион |
GD-A8V |
| Фтористый молибден МФ 4 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Окись азота NO |
0-100 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Двуокись азота NO 2 |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Трехфтористый азот NF 3 |
0-30 частей на миллион |
GD-K8DG, GD-K77DG |
| Тетраокисел азота N 2 O 4 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D |
| Кислород О 2 |
0-25 об.% |
GD-F77D |
| Озон О 3 * |
0-0,6 млн ppm0-1 |
GD-K77D, СК-90 |
| Фосфин PH 3 |
0-1 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Оксихлорид фосфора POCl 3 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Пентафторид фосфора ПФ 5 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Трихлорид фосфора PCl 3 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Трифторид фосфора ПФ 3 * |
0-10 частей на миллион |
GD-K77D |
| Силан SiH 4 |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Тетрахлорид кремния SiCl 4 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Тетрафторид кремния SiF 4 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Двуокись серы SO 2 |
0-30 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Четырехфтористая сера SF 4 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Фтористый тантал TaF 5 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Тетраэтил ортосиликата Si (OC 2 H 5 ) 4 (ТУС) |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Четыреххлористый цинк ZnCl 4 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Фтористый титан TiF 4 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| Четыреххлористый титан TiCl 4 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Трихлормоносилан SiHCl 3 * |
0-15 частей на миллион |
GD-K77D, СК-90 |
| Триметоксил бора B (ОСН 3 ) 3 (ТМВ) * |
0-500 частей на миллион |
GD-S8DG, GD-S77DG |
| Триметил фосфата Р (ОСН 3 ) 3 (ТМП) * |
0-100 частей на миллион |
GD-S8DG, GD-S77DG |
| Шестифтористый фольфрам WF 6 * |
0-9 млн |
GD-K77D, СК-90 |
| 1,1,1 — трихлорэтан С 2 Н 3 Cl 3 * |
0-2000 частей на миллион |
GD-A8V |
